K.Kimura, T.Miyoshi, Y.Takaya, S.Takahashi: "Corrective Planarization Method Using Chemical Mechanical Polishing Assisted by Lazer Particle Trapping"Proc. of ASPE Annual Meeting. St.Louis. 37-40 (2002)
K.Kimura, T.Miyoshi, Y.Takaya, S.Takahashi: "Corrective Planarization Method Using Chemical Mechanical Polishing Assisted by Lazer Particle Trapping"Proc. of ASPE Annual Meeting. St.Louis. 37-40 (2002)
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K.Kimura、T.Miyoshi、Y.Takaya、S.Takahashi：“利用激光粒子捕获辅助的化学机械抛光的校正平面化方法”Proc。
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