Yuji Furukawa et al.: "Guideline for Efficient and Priise Anisotropic Etching Condisions" Journal of the JSPE. Vol. 62, No. 2. 428-432 (1996)
Yuji Furukawa et al.: "Guideline for Efficient and Priise Anisotropic Etching Condisions" Journal of the JSPE. Vol. 62, No. 2. 428-432 (1996)
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Yuji Furukawa 等人：“高效且优质各向异性蚀刻条件指南”，JSPE 杂志。
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