Plasma diagnostics and film growth of multicomponent nitride thin films with magnetic-field-assisted-dc magnetron sputtering
Plasma diagnostics and film growth of multicomponent nitride thin films with magnetic-field-assisted-dc magnetron sputtering
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磁场辅助直流磁控溅射多组分氮化物薄膜的等离子体诊断和薄膜生长
DOI：
10.1016/j.vacuum.2022.111331
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
4
通讯作者：
P. Eklund
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Smita G. Rao;Ruibin Shu;R. Boyd;A. le Febvrier;P. Eklund
