AuSb合金を用いたMIC法で作製したGe薄膜の構造と電気特性
AuSb合金を用いたMIC法で作製したGe薄膜の構造と電気特性
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AuSb合金MIC法制备Ge薄膜的结构与电学性能
DOI:
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发表时间:
2023
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
弓野健太郎
中科院分区:
文献类型:
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作者:
加藤雅基;弓野健太郎