Spectroscopic Measurement of Solvated Electrons for Analysis of Plasma Reaction Field in Liquid
Spectroscopic Measurement of Solvated Electrons for Analysis of Plasma Reaction Field in Liquid
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溶剂化电子的光谱测量用于液体中等离子体反应场的分析
DOI：
10.11499/sicejl.60.197
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
三浦 永祐
中科院分区：
文献类型：
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作者：
伯田 幸也;寺嶋 和夫;榊原 教貴;三浦 永祐
近年プラズマプロセスは, 従来の真空下での操作から大気圧下の液相を含む高密度環境へ展開され, 半導体製造などの材料プロセスのみならず医療, バイオ, 農業などの幅広い分野へ目覚ましい拡がりを見せている. 筆者らは, 液中プラズマをナノ粒子の表面改質を行う反応場として利用し, 表面修飾した粒子を用いた新規な複合材料開発を行っている. 表面改質プロセスの高度化を図るため, 液中プラズマ反応場の理解が必要とされるが, 生成する水和電子のような寿命が比較的短い反応化学種の計測は難しく, 反応場解析の障壁となっていた. 本稿では, 筆者らが進める液中プラズマを使った表面改質技術とタフコンポジット材料開発を紹介したのち, 独自に開発したフェムト秒レーザーを用いた高時空間分解能吸収計測装置の概要を述べ, 計測されたピコ秒からナノ秒オーダーの水和電子の生成・消滅挙動を議論する.