H.Doshita et al.: "Dynamical aspect of Cl_2 reaction on Si surfaces" Jounal of Vacuum Science and Technol.A16(1). 265-269 (1998)
H.Doshita et al.: "Dynamical aspect of Cl_2 reaction on Si surfaces" Jounal of Vacuum Science and Technol.A16(1). 265-269 (1998)
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H.Doshita 等人:“Si 表面 Cl_2 反应的动态方面”真空科学与技术杂志 A16(1)。
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