Large-rotation and low-voltage driving of micromirror realized by tense thin-film torsion bar
Large-rotation and low-voltage driving of micromirror realized by tense thin-film torsion bar
复制标题
利用张力薄膜扭杆实现微镜大旋转低压驱动
DOI：
--
复制
发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
K.Hane
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
M.Sasaki;S.Yuki;K.Hane
