フッ素系ガスを用いた Cu 表面上の酸化皮膜の改質とその反応メカニズムの解明

フッ素系ガスを用いた Cu 表面上の酸化皮膜の改質とその反応メカニズムの解明
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氟气对Cu表面氧化膜的改性及反应机理的阐明

DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
藤橋実穂，西村文宏，金在虎，米沢晋
藤橋実穂，西村文宏，金在虎，米沢晋
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Ohata Satoshi;Kawamura Takahiro;Akiyama Toru;Usami Shigeyoshi;Imanishi Masayuki;Yoshimura Masashi;Mori Yusuke;Sumi Tomoaki;Takino Junichi;藤橋実穂，西村文宏，金在虎，米沢晋

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