Fabrication of Nano-periodic X-ray Multilayer Films by ECR Ion-beam Sputtering
Fabrication of Nano-periodic X-ray Multilayer Films by ECR Ion-beam Sputtering
复制标题
ECR离子束溅射制备纳米周期X射线多层膜
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
et. al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Kamiya;et. al.
