誘導結合型磁化プラズマ容器側壁近傍における電子エネルギー利得機構(2)－シース電界形状と磁界印加方向が利得機構に及ぼす影響のモンテカルロ解析－
誘導結合型磁化プラズマ容器側壁近傍における電子エネルギー利得機構(2)－シース電界形状と磁界印加方向が利得機構に及ぼす影響のモンテカルロ解析－
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电感耦合磁化等离子体容器侧壁附近的电子能量增益机制（2）-鞘层电场形状和磁场施加方向对增益机制影响的蒙特卡罗分析-
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
菅原広剛
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高橋宏徳;菅原広剛
