Observation of Microstructures in the Longitudinal Direction of Very narrow Cu Interconnects
Observation of Microstructures in the Longitudinal Direction of Very narrow Cu Interconnects
复制标题
极窄铜互连线纵向微观结构的观察
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Saitou and K. Ishikawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. P. Khoo;J. Onuki;T. Nagano;Y. Chonan;H. Akahoshi;T. Tobita M. Chiba;T. Saitou and K. Ishikawa
