レーザースライスに向けたOVPE-GaN基板の着色低減及び電気特性評価
レーザースライスに向けたOVPE-GaN基板の着色低減及び電気特性評価
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激光切片用OVPE-GaN衬底的减色和电学性能评估
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
森 勇介
中科院分区：
文献类型：
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作者：
三船 浩明;宇佐美 茂佳;神山 将大;今西 正幸;丸山 美帆子;吉村 政志;隅 智亮;滝野 淳一;岡山 芳央;秦 雅彦;伊勢村 雅士;森 勇介
