HiPIMSを用いたDLC成膜プロセスにおけるプラズマ診断と膜質評価～低摩擦化を目指して～
HiPIMSを用いたDLC成膜プロセスにおけるプラズマ診断と膜質評価～低摩擦化を目指して～
复制标题
使用 HiPIMS 进行 DLC 成膜过程中的等离子体诊断和膜质量评价 - 以低摩擦为目标 -
DOI：
--
复制
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
太田 貴之
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
太田 貴之;松島 丈;村上 祐一;小田 昭紀;上坂 裕之;Michihisa Takeuchi;太田 貴之
