Design and Evaluation of High Performance Electrostatic Microactuator having Diaphragm-Electrodes Structure
Design and Evaluation of High Performance Electrostatic Microactuator having Diaphragm-Electrodes Structure
复制标题
薄膜电极结构高性能静电微执行器的设计与评估
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
HAYASHI Tomohiro
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H.Mitsuda;M.Komori;M.Subkhan;A.Inoue;HAYASHI Tomohiro
