Suppression mechanism of double positioning growth in 3C-SiC(111) crystal by using an off-axis Si(110) substrate

Suppression mechanism of double positioning growth in 3C-SiC(111) crystal by using an off-axis Si(110) substrate
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离轴Si(110)衬底对3C-SiC(111)晶体双定位生长的抑制机制

DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
Mater.Sci.Forum 353-356
影响因子:
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通讯作者:
S.Nishino
S.Nishino
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
M.Nakamura;T.Isshiki;T.Nishiguchi;K.Nishio;S.Ohshima;S.Nishino

文献摘要

被引文献

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