水静圧軸受の最適設計による小型超精密工作機械用テーブルの性能向上に関する研究
水静圧軸受の最適設計による小型超精密工作機械用テーブルの性能向上に関する研究
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通过静压轴承优化设计提高小型超精密机床工作台性能的研究
DOI:
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发表时间:
2012
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
中尾陽一
中科院分区:
文献类型:
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作者:
原田,鈴木,中尾;佐野,鈴木,中尾;原田翔;佐野利晃;小森正敬;佐野利晃;原田翔;中尾陽一;中尾陽一