Si multiprobes integrated with lateral actuators for independent scanning probe applications
Si multiprobes integrated with lateral actuators for independent scanning probe applications
复制标题
硅多探头与横向执行器集成，用于独立扫描探头应用
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Masayoshi Esashi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yoomin Ahn;Takahito Ono;Masayoshi Esashi
