窒化物半導体薄膜の走査プローブ顕微鏡による微視的評価

窒化物半導体薄膜の走査プローブ顕微鏡による微視的評価
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使用扫描探针显微镜对氮化物半导体薄膜进行显微评估

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
応用物理 76
影响因子:
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通讯作者:
櫻井利夫
櫻井利夫
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
高村(山田)由起子;王治涛;藤川安仁;櫻井利夫

文献摘要

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