Electron-temperature control by varying dc voltage to a mesh grid covered by thin insulator film in plasmas
Electron-temperature control by varying dc voltage to a mesh grid covered by thin insulator film in plasmas
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通过改变等离子体中覆盖有薄绝缘膜的网状栅极的直流电压来控制电子温度
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kato
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kohgi;Kato
