Agナノインクを用いて作製したAg/Siショットキー接触:焼成条件が電気特性に及ぼす影響

Agナノインクを用いて作製したAg/Siショットキー接触:焼成条件が電気特性に及ぼす影響
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使用银纳米墨水制造的银/硅肖特基接触:烧制条件对电性能的影响

DOI:
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发表时间:
2019
期刊:
第29回マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集
影响因子:
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通讯作者:
玉井聡行
玉井聡行
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
斉藤大志;柏木行康;玉井聡行

文献摘要

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