Hideki Matsumura: "Study on catalytic chemical vapor deposition method to prepare hydrogenated amorphous silicon." J.Appl.Phys.65. 4396-4402 (1989)
Hideki Matsumura: "Study on catalytic chemical vapor deposition method to prepare hydrogenated amorphous silicon." J.Appl.Phys.65. 4396-4402 (1989)
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Hideki Matsumura：“催化化学气相沉积法制备氢化非晶硅的研究”。
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