S. Terakado: "Modification of surface condition and irradiation effects of synchrotron radiation on phatoexcited et ching of SiC" J. Vac. Sci. Technol B. 13-6. 2715-2720 (1995)
S. Terakado: "Modification of surface condition and irradiation effects of synchrotron radiation on phatoexcited et ching of SiC" J. Vac. Sci. Technol B. 13-6. 2715-2720 (1995)
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S. Terakado：“同步加速器辐射对 SiC 光激发蚀刻的表面条件和辐照效果的修改”J. Vac。
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