単結晶シリコン加速度センサの新構成 -横振動子の軸力による共振周波数変化を利用したMEMS加速度センサの実現を目指して-
単結晶シリコン加速度センサの新構成 -横振動子の軸力による共振周波数変化を利用したMEMS加速度センサの実現を目指して-
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单晶硅加速度传感器的新结构 - 旨在实现利用横向振动器的轴向力引起的共振频率变化的MEMS加速度传感器 -
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
菅原 澄夫
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H.Oglivy;H.M.Pask;J.M.Piper T.Omatsu;菅原 澄夫;菅原 澄夫
