気相反応を用いたナノ・マイクロシリコンの生成と形状・サイズ制御
気相反応を用いたナノ・マイクロシリコンの生成と形状・サイズ制御
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利用气相反应生成纳米/微米硅并控制其形状/尺寸
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
稲澤晋
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Inasawa;Y. Ono;T. Mizuguchi;A. Sunairi;S. Nakamura;Y. Tsuji and Y. Yamaguchi;Susumu Inasawa and Yukio Yamaguchi;稲澤晋;稲澤晋
