低速ドーパントイオン照射によるSi表面改質効果のその場STM観察
低速ドーパントイオン照射によるSi表面改質効果のその場STM観察
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慢速掺杂离子辐照硅表面改性效果的原位STM观察
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大泊 巌
中科院分区：
文献类型：
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作者：
神岡 武文;大泊 巌
