高性能レーザプラズマEUV(Extreme-ultraviolet)光源の開発-ターゲット構造とEUV変換効率の評価-
高性能レーザプラズマEUV(Extreme-ultraviolet)光源の開発-ターゲット構造とEUV変換効率の評価-
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高性能激光等离子体EUV（极紫外）光源的开发 - 靶材结构和EUV转换效率的评估 -
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
押鐘 寧
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中野元博;吉川隆弥;大谷祐子;片岡俊彦;井上晴行;押鐘 寧
