佐藤 徳芳: "エッチングプラズマのパラメータ制御" プラズマ核融合学会誌. 71. 717-725 (1995)
佐藤 徳芳: "エッチングプラズマのパラメータ制御" プラズマ核融合学会誌. 71. 717-725 (1995)
复制标题
Noriyoshi Sato：“蚀刻等离子体的参数控制”等离子体融合学会杂志 71. 717-725 (1995)。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
