Influence of NaCl-electrolyzed water on the surface of fluorophosphate glass
Influence of NaCl-electrolyzed water on the surface of fluorophosphate glass
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NaCl电解水对氟磷酸盐玻璃表面的影响
DOI：
10.11420/jsat.64.314
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
佐藤運海，瀧本剛史， 馬場隆充
中科院分区：
文献类型：
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作者：
柏井悠司; 山口彪我;原宣宏;佐藤運海 川久保英樹;佐藤運海 川久保英樹;佐藤運海， 川久保英樹;佐藤運海，川久保英樹;佐藤運海，瀧本剛史， 馬場隆充
本研究は, 化学薬液の代わりに表面洗浄および金属表面エッチングなどに優れている NaCl 電解水をフツリン酸ガラスの研磨加工および洗浄工程に応用するために, フツリン酸ガラスの表面に及ぼす NaCl 電解水のエッチング作用, ミクロ形状への影響および研磨材微粒子の除去洗浄性能について実験検討を行った. その結果, まずエッチング作用について, NaCl 電解酸化水は, HCl 溶液より強いエッチング作用があり, NaCl 電解還元水は, NaOH 溶液と同様にエッチング作用がほとんどない. つぎに, 試料片表面のミクロ形状に対して, 電解還元水は NaOH 溶液とほぼ同様に, 浸漬時間が 20 分程度で短い場合, 影響がないが, 電解酸化水および HCl 溶液は, 5 分程度の浸漬でも表面を粗くする可能性がある. くわえて, 超音波を併用した場合も, 電解還元水は試料片表面のミクロ形状に影響を与えない. 最後に, 研磨材微粒子の除去洗浄性能について, 電解還元水は, 現状の洗浄薬液と比べ, 同等以上に洗浄効果があり, 同様の pH 値を有する NaOH 溶液と比べ, 洗浄後の試料片表面に研磨材微粒子の残留量が少ない. 本研究により, NaCl 電解酸化水はフツリン酸ガラス表面のエッチングや研磨加工, NaCl 電解還元水は研磨材微粒子の除去洗浄に応用できる示唆を得た.