Properties of AlN coatings produced by RF sputtering method
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射频溅射法制备AlN涂层的性能
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
澤田明彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Becker.A.K.;Zeppenfeld;T.;Staab;A.;Seitz;S.;Boos;W.;Morita T.;Aiba H.;Mahr.K.;Titgemeyer.F.;Jahreis.K.;澤田明彦
