Micron-sized fracture experiments on amorphous SiOx films and SiOx/SiNx multi-layers
Micron-sized fracture experiments on amorphous SiOx films and SiOx/SiNx multi-layers
复制标题
非晶SiOx薄膜和SiOx/SiNx多层微米级断裂实验
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
G. Dehm
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Matoy;H. Schönherr;T. Detzel;G. Dehm
