Microactuator Using Tensile Thin Film
Microactuator Using Tensile Thin Film
复制标题
使用拉伸薄膜的微致动器
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Minoru Sasaki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小澤哲也;谷地館藍;山田洋;佐藤弘二;小島健;薮上信;小林伸聖;中居倫夫;Hon Fai Lau and Shigeru Yamamoto;Minoru Sasaki
