Micro-Bending Tests of Pure Gold Cantilevers for Applications as Movable Components in MEMS Devices
Micro-Bending Tests of Pure Gold Cantilevers for Applications as Movable Components in MEMS Devices
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纯金悬臂梁在 MEMS 器件中作为可移动组件应用的微弯曲测试
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Masato Sone
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Keisuke Asano;Hao-Chun Tang;Chun-Yi Chen;Tso-Fu Mark Chang;Daisuke Yamane;Katsuyuki Machida;Kazuya Masu;Masato Sone
