T.Hara, H.Toida, Y.Shimura: "The Self-Annealing Phenomenon in Copper Interconnection"Electrochem.Solid-State Lett.. 6,09. G98-G101 (2003)
T.Hara, H.Toida, Y.Shimura: "The Self-Annealing Phenomenon in Copper Interconnection"Electrochem.Solid-State Lett.. 6,09. G98-G101 (2003)
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T.Hara、H.Toida、Y.Shimura：“铜互连中的自退火现象”Electrochem.Solid-State Lett.. 6,09。
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