Characteristics of magnetically driven shunting arc plasma for amorphous carbon film deposition
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磁驱动分流电弧等离子体沉积非晶碳薄膜的特性
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takaki K;Kumagai O;Hasegawa S;Fujiwara T;et al.
