An unreleased MEMS actuated silicon nitride resonator with bidirectional tuning
An unreleased MEMS actuated silicon nitride resonator with bidirectional tuning
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未发布的具有双向调谐功能的 MEMS 驱动氮化硅谐振器
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S. Bhave
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hao Tian;B. Dong;M. Zervas;T. Kippenberg;S. Bhave
通过在谐振器上方集成一个压电微机械驱动器来调谐氮化硅光子谐振器。双向调谐是通过控制电压极性和合理地将致动器放置在环上来实现的。
A silicon nitride photonic resonator is tuned by integrating a piezoelectric MEMS actuator above the resonator. Bidirectional tuning is achieved by controlling voltage polarity and judicious placement of the actuator above the ring.