冷却装置不要の自然冷却式マグネトロンスパッタガンの開発
冷却装置不要の自然冷却式マグネトロンスパッタガンの開発
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开发不需要冷却装置的自然冷却磁控溅射枪
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中村吉男
中科院分区：
文献类型：
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作者：
春本高志;史蹟;中村吉男
