Transition Metal Complex Reaction Etching with Neutral Beam and Its Mechanism Investigated by First-Principles Calculation
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复制标题
中性束过渡金属配合物反应刻蚀及其第一性原理计算机理研究
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Seiji Samukawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tomohiro Kubota;Yoshiyuki Kikuchi;and Seiji Samukawa
