Picometric profilometry. II. Multidetector approach and multiplexed lock-in detection

Picometric profilometry. II. Multidetector approach and multiplexed lock-in detection
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皮测量轮廓测定法。

DOI：
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发表时间：
1995
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
A. Boccara
A. Boccara
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
P. Gleyzes;F. Guernet;A. Boccara

文献摘要

被引文献

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在第一篇论文[光学杂志，第25卷，第207页，1994年]中，我们描述了一种使用单个检测器和样品扫描程序的表面轮廓仪。我们已经开发了一个多检测器版本的这种设置使用CCD线性阵列（256像素）和原始的多路复用锁定检测程序。
In a first paper [Journal of Optics, vol.25, p.207, 1994] we described a surface profilometer using a single detector and a sample scanning procedure. We have developed a multidetector version of this setup using a CCD linear array (256 pixels) and an original multiplexed lockin detection procedure.