供田英之,佐々木公洋他: "ECRプラズマの発光分光特性とその薄膜成長におよぼす影響" 第56回応用物理学会学術講演会予稿集. 447- (1995)
供田英之,佐々木公洋他: "ECRプラズマの発光分光特性とその薄膜成長におよぼす影響" 第56回応用物理学会学術講演会予稿集. 447- (1995)
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Hideyuki Toda、Kimihiro Sasaki等:“ECR等离子体的发射光谱特性及其对薄膜生长的影响”日本应用物理学会第56届年会论文集447-(1995)。
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