螺旋波等离子体合成SiON 薄膜及其特性
螺旋波等离子体合成SiON 薄膜及其特性
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DOI：
10.1360/n972016-01182
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
吴雪梅
中科院分区：
文献类型：
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作者：
於俊;黄天源;季佩宇;金成刚;诸葛兰剑;吴雪梅
