Carbon transport in Si(001) and nucleation of diamond-like carbon layers during mass selected carbon ion beam deposition
Carbon transport in Si(001) and nucleation of diamond-like carbon layers during mass selected carbon ion beam deposition
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质量选择碳离子束沉积过程中 Si(001) 中的碳传输和类金刚石碳层的成核
DOI：
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发表时间：
1998
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
E. Recknagel
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Christiansen;M. Albrecht;G. Frank;H. Strunk;C. Ronning;H. Hofsäss;E. Recknagel
