溶液法により形成した高抵抗AZO薄膜をバッファ層に用いたAZO積層薄膜トランジスタの作製と評価
溶液法により形成した高抵抗AZO薄膜をバッファ層に用いたAZO積層薄膜トランジスタの作製と評価
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以溶液法形成的高阻AZO薄膜为缓冲层的AZO多层薄膜晶体管的制作与评价
DOI:
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发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
木村 史哉,佐々木 祥太, 孫 屹, 小山 政俊,前元 利彦,佐々 誠彦
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Kazumasa Terada1;Taiki Nishino;Taku Noda;Masatoshi Kotera;木村 史哉,佐々木 祥太, 孫 屹, 小山 政俊,前元 利彦,佐々 誠彦