準大気圧マイクロ波窒素プラズマにおける窒素原子数密度に関する理論的考察
準大気圧マイクロ波窒素プラズマにおける窒素原子数密度に関する理論的考察
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负压微波氮等离子体中氮原子序数密度的理论思考
DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
加藤 進,清水 鉄司,榊田 創
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Sakai K.;Nishimoto T.;Isayama S.;Matsukiyo S.;Kuramitsu Y.;加藤 進,清水 鉄司,榊田 創