Si(111)基板上β-Si3N4へのA1照射による2H-A1N(0001)テンプレート作製とAIN表面構造

Si(111)基板上β-Si3N4へのA1照射による2H-A1N(0001)テンプレート作製とAIN表面構造
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Si(111) 衬底上的 β-Si3N4 上的 2H-A1N(0001) 模板制备和 Al 辐照的 AIN 表面结构

DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
大鉢忠
大鉢忠
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
R. Yamada;H. Kumazawa;S. Tanaka;and H. Tada;中澤英司;大鉢忠

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