C軸配向性AlN薄膜を得るためのバッファー層:Pt/AlNナノ多層薄膜
C軸配向性AlN薄膜を得るためのバッファー層:Pt/AlNナノ多層薄膜
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用于获得C轴取向AlN薄膜的缓冲层：Pt/AlN纳米多层薄膜
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中村吉男
中科院分区：
文献类型：
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作者：
春本高志;村石信二;史蹟;中村吉男
