T.Fujii,H.Aoyagi,Y.Horiike and H.Shindo: "Silicon Oxidation by Negative and Positive Ion Irradiations in Microwave Oxygen Plasma"Proc.17^<th> Plasama Processing Symposium, Nagasaki, Japan. 519-522 (2000)
T.Fujii,H.Aoyagi,Y.Horiike and H.Shindo: "Silicon Oxidation by Negative and Positive Ion Irradiations in Microwave Oxygen Plasma"Proc.17^<th> Plasama Processing Symposium, Nagasaki, Japan. 519-522 (2000)
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T.Fujii、H.Aoyagi、Y.Horiike 和 H.Shindo：“微波氧等离子体中负离子和正离子辐照的硅氧化”Proc.17^<th>等离子体处理研讨会，日本长崎。
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