M. Yoshimoto: "Deposition mechanism of silicon nitride in direct photo-assisted chemical vapor deposition using a low-pressure Hg lamp" Journal of Electrochemical Society. 142. 1976-1982 (1995)
M. Yoshimoto: "Deposition mechanism of silicon nitride in direct photo-assisted chemical vapor deposition using a low-pressure Hg lamp" Journal of Electrochemical Society. 142. 1976-1982 (1995)
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M. Yoshimoto：“使用低压汞灯的直接光辅助化学气相沉积中氮化硅的沉积机制”《电化学学会杂志》。
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