立体チャネルトランジスタ応用に向けた選択成長GaNの異方性エッチング
立体チャネルトランジスタ応用に向けた選択成長GaNの異方性エッチング
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用于 3D 通道晶体管应用的选择性生长 GaN 的各向异性蚀刻
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
筒井 一生
中科院分区：
文献类型：
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作者：
向井 勇人;濱田 拓也;高橋 言緒;井出 利英;清水 三聡;星井 拓也;角嶋 邦之;若林 整;岩井 洋;筒井 一生
