Emissivity-compensated radiation thermometry of silicon wafers at high temperature
Emissivity-compensated radiation thermometry of silicon wafers at high temperature
复制标题
高温硅片发射率补偿辐射测温
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T.IUCHI
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.HIRAKA;T.OHKUBO;T.IUCHI
