ポリウレタンゴム基板を用いた Fe3.2Tb 合金薄膜の磁場誘起運動歪
ポリウレタンゴム基板を用いた Fe3.2Tb 合金薄膜の磁場誘起運動歪
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聚氨酯橡胶基体 Fe3.2Tb 合金薄膜的磁场诱发运动应变
DOI：
10.2320/jinstmet.72.510
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发表时间：
2008
影响因子：
--
通讯作者：
義武 西
中科院分区：
文献类型：
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作者：
竜一 末永;哲也 嶋崎;大司 久保;昌枝 神田;良 中野;義人 松村;義武 西
研究了用直流磁控溅射法在低变形抗力聚氨酯橡胶基体上制备的Fe3.2Tb合金薄膜的磁致伸缩特性及其磁化率。当氩气溅射前的残余气压小于5.0×10- 4Pa，氩气溅射气压（5 N）小于2.0×10-1 Pa时，沉积的Fe 3.2Tb薄膜厚度约为2.96 μm。在聚氨酯橡胶片上制备的Fe 3.2Tb合金薄膜具有巨磁致伸缩效应，而在其它聚合物片上制备的Fe 3.2Tb合金薄膜没有这种效应。Fe3.2Tb合金薄膜的巨大运动应变主要取决于基体的变形抗力。
Magnetostriction and its susceptibility of Fe3.2Tb alloy thin film deposited on polyurethane rubber substrate with low deformation resistance by using direct current magnetron sputtering process were investigated. When both residual gas pressure before argon sputtering and sputtering pressure of argon gas (5 N) were less than 5.0×10-4 Pa and 2.0×10-1 Pa, respectively, the thickness of the Fe3.2Tb films deposited was about 2.96 μm. The giant magnetostriction was found in the Fe3.2Tb alloy film on polyurethane rubber sheet, rather than on other polymer sheets. Giant motion strain of Fe3.2Tb alloy film largely depended on deformation resistance of substrate.